2016年04月14日

「SiC高品質薄板化エピウエハ」の製品化に成功
―電力損失を従来製品の半分に抑制。SiCパワーデバイスの歩留改善に寄与―

東洋炭素株式会社は、 2012年から2014年の国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のプロジェクトにおいて金子忠昭・関西学院大学理工学部教授とともに 「SiCウエハの平坦表面処理技術」を完成、さらに当該技術を応用することでウエハ薄板化加工も容易となり、従来処理に比べ、エピ欠陥を1/20に低減した「高品質薄板化SiCエピウエハ」の製造を可能としました。 東洋炭素は、これらの開発技術を統合して、SiCウエハに対応するための量産製造装置を導入、製品化し、特定顧客へ高品質薄板化SiCエピウエハのサンプル供給を開始しました。
詳しくは プレスリリース（PDF版）をご覧ください。

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