PERMA-KOTE®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD（化学的気相成長）法にて緻密な炭化ケイ素膜を被覆した製品です。
製品サイト
SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®
MOCVDサセプター
リフレクター(シリコン単結晶引き上げ装置用)
パンケーキ型サセプター
導体ウエハーの表面に成膜するエピタキシャル成長の工程の、パンケーキ型、バレル型、枚葉型サセプターなどには炭化ケイ素被覆黒鉛がなくてはならない材料となっております。
パレル型サセプター
PERMA KOTE®︎は半導体レベルの純度の高い、耐熱性や耐食性に優れた炭化ケイ素で皮覆された黒鉛製品でエピタキシャル成長用サセプターとしてユーザーニーズに応えています。
特長
概要
- 耐酸化性、耐食性、耐薬品性に優れた炭化ケイ素膜です。
- 高温で安定、非常に硬い炭化ケイ素膜です。
- 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
- 黒鉛基材、炭化ケイ素膜ともに高純度です。
- 黒鉛基材、炭化ケイ素ともに熱伝導が高く、均熱性に優れています。
- クラックや剥離を起こさない材料設計です。
使用用途例
- シリコンエピタキシャル成長用サセプター
- シリコン単結晶引き上げ装置部品
- MOCVD用サセプター
- ヒーター
- 均熱板
- 耐酸化性部材
皮膜の性質
| 結晶構造 |  |
|---|---|
| かさ密度 | 3.2 Mg/m3 |
| 分解温度 | 2700 ℃以上 |
| 硬さ | 2800HK |
| 電気抵抗率 | 0.2Ω・m（電圧降下法による） |
| 曲げ強さ | 170 MPa（3点曲げによる） |
| ヤング率 | 320 GPa（たわみ法による） |
※上記数値は文献値または測定値であり、保証はありません。
皮膜の厚さ
標準は120μmですが、20～500μmの範囲で調整が可能です。
耐食性
下記表は横スクロールしてご覧になれます。
| 品名 | 化学式 | 濃度(%) | 温度(℃) | 時間(h) | 質量変化(g/㎡) |
|---|---|---|---|---|---|
| フッ化水素酸 | HF | 47 | 80 | 144 | -1.0 |
| 塩酸 | HCｌ | 36 | 沸点 | 144 | 0 |
| 硫酸 | H2SO4 | 97 | 110 | 144 | 0 |
| 硝酸 | HNO3 | 61 | 沸点 | 144 | 0 |
| フッ化水素酸+硝酸 | HF+HNO3 (1:1） | 100 | 80 | 288 | -1.0 |
| 硝酸+硫酸 | HNO3+H2SO4 (1:1） | 100 | 25 | 288 | -1.0 |
| 水酸化ナトリウム | NaOH | 20 | 80 | 288 | 0 |
| リン酸 | H3PO4 | 100 | 100 | 192 | -1.0 |
| 王水 | HCｌ+HNO3 (3:1) | 100 | 80 | 192 | 0 |
各物質との反応性（真空下）
| 反応物質 | 化学式 | 1200℃×3h | 1600℃×3h |
|---|---|---|---|
| アルミニウム | Al | ○ | △ |
| ホウ素 | B | ◎ | ◎ |
| コバルト | Co | △ | × |
| クロム | Cr | △ | × |
| 銅 | Cu | ○ | △ |
| 鉄 | Fe | × | × |
| モリブデン | Mo | ◎ | ○ |
| ニッケル | Ni | ◎ | × |
| 鉛 | Pb | △ | × |
| ケイ素 | Si | ◎ | ○ |
| スズ | Sn | ◎ | △ |
| タンタル | Ta | ◎ | ◎ |
| チタン | Ti | ◎ | ○ |
| バナジウム | V | ◎ | × |
| タングステン | W | ◎ | ○ |
| 酸化アルミニウム | Al2O3 | ◎ | × |
| 酸化ホウ素 | B2O3 | ◎ | ◎ |
| 酸化クロム(Ⅲ) | Cr2O3 | ◎ | × |
| 酸化鉄(Ⅲ) | Fe2O3 | × | × |
| 酸化マグネシウム | MgO | ◎ | △ |
| 酸化マンガン(Ⅳ) | MnO2 | ◎ | × |
| 酸化鉛(Ⅱ) | PbO | ○ | △ |
| 二酸化ケイ素 | SiO2 | ◎ | △ |
| 酸化チタン(Ⅳ） | TiO2 | ◎ | ○ |
| 酸化バナジウム(Ⅴ) | V2O5 | ◎ | △ |
| 酸化ジルコニウム(Ⅳ） | ZrO2 | ◎ | ○ |
※ ◎...反応なし ○...わずかに反応した
△...反応した ×...著しく反応
被膜の不純物分析例 単位： mass ppm
| 元素 | 含有量 |
| B | 0.15 |
| Na | 0.02 |
| Al | 0.01 |
| Cr | < 0.1 |
| Fe | 0.02 |
| Ni | < 0.01 |
※測定法：グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
具体的な使用法にあたってはカタログをご参照頂き、弊社営業部門に必ず相談のうえ、適材を決めて御使用下さい。
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