シリコン多結晶製造装置用部材の大型化、性能改善等のご要望に応じ、様々な黒鉛材料から最適な材料や形状の提案をさせていただきます。
太陽電池パネルのセルの製造工程の1つであるシリコン多結晶製造工程で当社の黒鉛は活躍しています。
セルのもととなるシリコンインゴットを製造する際、溶解温度は約1500℃と極めて高い温度になりますが、耐熱性に優れた等方性黒鉛は角るつぼ、ヒーター、断熱材カバー等キャスト炉内部品として多く採用されています。
また、インゴットサイズは生産効率向上とコストダウンを目的に大型化が進められております。
この大型化に対応するため、等方性黒鉛材とC/Cコンポジット材を用いた炉の軽量化、またライフアップのため、当社の解析技術により最適形状の提案も行っております。
ポリシリコン製造時の使用条件、純度に合わせ最適の材料をご提供いたします。
半導体および太陽電池用のシリコンウェハーの原料である高純度ポリシリコンの製造工程の反応炉や転換炉で当社の超高純度黒鉛製品が多く使用されています。
シリコンシードと直接接触するシードチャックや炉内部品に、純度が高く電気伝導に優れた黒鉛の特性が活かされています。
幅広いグレードをご用意しており、品質改善、コストダウンなど、様々なご要望に応じ最適な材料を選定させていただきます。