熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®
PYROGRAPH®について
断面偏光顕微鏡写真
高純度黒鉛材料に当社独自のCVD法により熱分解炭素を被覆した製品がPYROGRAPH®です。ガス透過の低減、反応の抑制などの効果もあり、分析用、高温炉部品、各種治具分野に使用されています。
特長
- きわめて緻密であり高密度である。
- 超高純度である。
- 低温域での耐酸化性に優れる。
- 耐薬品性に優れる。
- ガスの放出量が極めて少なくなる。
使用用途・製品
- ガス不浸透性反応管
- 半導体用サセプター、ボード、治具
- 原子吸光用チューブ
- 金属溶解るつぼ
一般物理特性
| 項目 | 単位 | 被覆面に平行 | 被覆面に垂直 |
| かさ密度 | Mg/m3 | 2.2 | 2.2 |
| 硬さ | HSD | 100 | － |
| 電気抵抗率 | μΩ・m | 2.00～4.00 | 2～5×103 |
| 線熱膨張率 | 10-6/K | 1.7 | 28 |
| 引張強さ | MPa | 98～147 | 極めて弱い |
| ヤング率 | GPa | 29～39 | － |
| 熱伝導率 | W/(m・K） | 170～420 | 2～4 |
※熱膨張係数の温度範囲はRT～1000℃です。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
PYROGRAPH®の断面形状
熱分解炭素被膜は、柱状組織をしており、極めて緻密であることがわかります。
不純物分析例
| 元素 | 含有量 |
| B | < 0.01 |
| Na | 0.03 |
| Al | 0.02 |
| Cr | < 0.1 |
| Fe | < 0.01 |
| Ni | < 0.01 |
※測定方法：グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
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