CVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なタンタルカーバイドを被覆した製品です。
EVEREDKOTE®-Bとは、専用に開発した高純度等方性黒鉛基材に当社独自のCVD法にて緻密なタンタルカーバイド膜を被覆した製品の名称であり、以下の特徴を有しています。 ○ 高温で安定なタンタルカーバイド膜であり、耐熱性に優れています。 ○ 急速な加熱冷却にも強く耐熱衝撃に優れています。 ○ エッチングガスに対する耐反応性に優れています。 ○ 被覆膜は緻密性に優れ、ガス透過率が極めて低くなります。 ○ 黒鉛基材、タンタルカーバイド膜ともに高純度です。
元素 | 含有量 |
B | < 0.01 |
N | < 5 |
Na | < 0.01 |
Mg | < 0.05 |
Al | < 0.01 |
Si | 0.14 |
P | <0.3 |
S | <0.02 |
Cl | -0.3wt% |
Ca | < 0.05 |
Ti | < 0.005 |
V | < 0.005 |
Cr | < 0.1 |
Mn | < 0.005 |
Fe | 0.42 |
Co | < 0.01 |
Ni | 0.06 |
Cu | <0.05 |
Zn | < 0.05 |
As | < 10 |
Nb | 1.1 |
Mo | 1.6 |