製品用途例｜C/Cコンポジット｜東洋炭素株式会社

C/Cコンポジット

C/Cコンポジットは、炭素材料の強度、耐衝撃性などの向上を目的に、高強度炭素繊維で補強された炭素複合材料であり、
宇宙航空用や半導体製造用などの最先端技術分野をはじめ一般工業用分野にも使用される先端炭素材料です。

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製品用途例

エレクトロニクス関連

単結晶シリコン製造用

シリコンインゴット
C/Cコンポジット製ルツボとシールド

ICチップの原料となるシリコンウエハー。
その製造工程では溶解温度は約1500℃と極めて高くなりますが、耐熱性に優れ、軽量なC/Cコンポジットはウエハーの大口径化が進む中、等方性黒鉛からの切り替えが広がっています。

・薄肉化でき小さな装置で大きな直径の結晶を引き上げることが可能
・繊維の配向を調整することにより石英ルツボやシリコンの凝固時の熱膨張差に耐える設計可能

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一般工業炉関連

熱処理用

C/Cコンポジットは炭素材料の強度、耐熱衝撃性の向上を目的に、高強度炭素繊維で補強された炭素複合材料です。
C/Cコンポジット製熱処理トレイの比重は金属製トレイの約1/5でハンドリングが容易です。また、1,000℃での強度は鉄の約10倍と高強度かつ熱変形が少ないことから、詰め効率向上やランニングコスト低減などに貢献します。

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ホットプレス用

ファインセラミックス製造の際、材料を焼結するホットプレス装置のダイスとして、耐熱性、耐熱衝撃性に優れ、高圧成形にも耐えうる高強度のC/Cコンポジットが使用されております。

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「はやぶさ2」の推進力となるイオンエンジンで耐久性用に優れたC/Cコンポジットが採用されています

2014年12月打ち上げられた宇宙航空研究開発機構（JAXA）の小惑星探査機「はやぶさ2」が、2020年12月6日、地球へ無事帰還、サンプルリターンに成功し、国内だけでなく、海外でも注目されました。
当社のC/Cコンポジットは「はやぶさ２」の推進力となるイオンエンジンに搭載されております。肉厚の薄い円板に多数の小さい孔の加工が必要とされ、非常に高い加工寸法精度が求められ、当社にとってはは大きな挑戦でした。